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    MTI 數字式電容探頭

    簡要描述:

    MTI 數字式電容探頭的特點
    ● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC -- 200ºC (也有高溫探頭,在下一頁有介紹)
    ● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC
    ● 精度: 高于滿量程的±0.02% (當探頭和放大器經過和被測物校準后)
    ● 標準放大器濾波帶寬: 500Hz

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    MTI 數字式電容探頭

     

     

    MTI 數字式電容探頭

    (標準規格的電容探頭以達到納米級別的分辨率并且有非常好的穩定性)

    電容位移傳感器的應用

    顯微鏡聚焦 „鏡頭的對準 „測量零件的外形 „測量零件的傾斜 „測量半導體硅片的厚度 „測量壓電平臺的位移 „測量振動 „測量電腦硬盤運行和厚度 „測量剎車盤的翹曲和厚度 „測量金屬板的厚度 „測量光伏晶圓

    的特點

    ● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC  -- 200ºC (也有高溫探頭,在下一頁有介紹)

    ● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC

    ● 精度: 高于滿量程的±0.02% (當探頭和放大器經過和被測物校準后)

    ● 標準放大器濾波帶寬: 500Hz

    ● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

    ● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬  Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

    ● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%(在沒有經過校準的情況下互換)

    ● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭)

    ● 材料: 不銹鋼結構,內部沒有電子元器件

    ● 帶線纜的探頭,同軸電纜長度: 2.4m (可選延長線纜.)

     

    型號       ASP-1-ILR

     

    量程

    2zui大擴展量程

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    2.36

    mm

    9.53

    µm

    1.270

    ASP-2-ILR

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    2.84

    9.53

    2.540

    ASP-5-ILR

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    3.96

    9.53

    6.350

    ASP-10-ILR

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    5.54

    9.53

    12.700

    ASP-20-ILR

    508.0

    4

    50.80

    5.00

    7.92

    9.53

    25.400

    ASP-50-ILR

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    13.87

    9.53

    63.500

    ASP-100-ILR

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    9.53

    127.000

    ASP-200-ILR

    5080.0

    2

    508.00

    15.93

    38.10

    9.53

    254.000

     

     

    型號       ASP-25M-CTR

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    9.53

    mm

    25.40

    µm

    1.270

    ASP-50M-CTR

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    9.53

    25.40

    2.540

    ASP-125M-CTR

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    9.53

    25.40

    6.350

    ASP-250M-CTR

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    9.53

    25.40

    12.700

    ASP-500M-CTR

    508.0

    4

    50.80

    5.00

    11.13

    25.40

    25.400

    ASP-1250M-CTR

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    15.88

    25.40

    63.500

    ASP-2500M-CTR

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    25.40

    127.000

     

     

    產品型號       ASP-1-ILA

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    2.36

    mm

    9.53

    µm

    1.270

    ASP-2-ILA

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    2.84

    9.53

    2.540

    ASP-5-ILA

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    3.96

    9.53

    6.350

    ASP-10-ILA

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    5.54

    9.53

    12.700

    ASP-20-ILA

    508.0

    4

    50.80

    5.00

    7.92

    9.53

    25.400

    ASP-50-ILA

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    13.87

    9.53

    63.500

    ASP-100-ILA

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    9.53

    127.000

    ASP-200-ILA

    5080.0

    2

    508.00

    15.93

    38.10

    9.53

    254.000

     

       

     

    型號       ASP-0.5-CTA

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    12.7

     

    20

    µm/V

    1.27

    mm

    0.74

    mm

    6.35

    mm

    63.50

    µm

    0.635

    ASP-25M-CTA

    25.4

    10

    2.54

    1.09

    6.35

    63.50

    1.270

    ASP-50M-CTA

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    6.35

    63.50

    2.540

    ASP-125M-CTA

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    6.35

    63.50

    6.350

    ASP-250M-CTA

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    6.35

    63.50

    12.700

    ASP-500M-CTA

    508.0

    5

    50.80

    5.00

    11.10

    63.50

    25.400

    ASP-1250M-CTA

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    15.88

    63.50

    63.500

    ASP-2500M-CTA

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    63.50

    127.000

    ASP-5000M-CTA

    5080.0

    2

    508.00

    15.93

    38.10

    101.60

    254.000

    ASP-500-CTA

    12700.0

    1

    1270.00

    25.22

    82.55

    101.60

    635.000

     

     

     

    型號       ASP-1-PCA

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    2.36

    mm

    2.54

    µm

    1.270

    ASP-2-PCA

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    2.84

    2.54

    2.540

    ASP-5-PCA

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    3.96

    2.54

    6.350

    ASP-10-PCA

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    5.54

    2.54

    12.700

    ASP-20-PCA

    508.0

    4

    50.80

    4.98

    7.92

    2.54

    25.400

    ASP-50-PCA

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    13.87

    2.54

    63.500

    ASP-100-PCA

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    2.54

    127.000

     

     

     

    型號       ASP-1-PCR

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭直徑L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    2.36

    mm

    2.54

    µm

    1.270

    ASP-2-PCR

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    2.84

    2.54

    2.540

    ASP-5-PCR

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    3.96

    2.54

    6.350

    ASP-10-PCR

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    5.54

    2.54

    12.700

    ASP-20-PCR

    508.0

    4

    50.80

    4.98

    7.92

    2.54

    25.400

    ASP-50-PCR

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    13.87

    2.54

    63.500

    ASP-100-PCR

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    2.54

    127.000

    ASP-200-PCR

    5080.0

    2

    508.00

    15.93

    38.10

    5.08

    254.000

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