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    數字式電容位移放大器

    簡要描述:

    MTI 數字式電容位移放大器D-100 D-200 D-300 D-400數字式電容位移傳感器性度高達滿量程的 0.01%具有亞納米級別的分辨率

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    MTI 數字式電容位移放大器
     

    D-100 D-200 D-300 D-400數字式電容位移傳感器

    線性度高達滿量程的 0.01%

    具有亞納米級別的分辨率

    可以選擇標準的探頭和定制的探頭


     

    MTI 數字式電容位移放大器

    先進的功能

    1、具有行業中zui高的分辨率,線性度高達 0.01%

    2、不需要模數轉化器

    3、通過網線或者 USB 線纜自動連接

    4、所有的通道同時測量可高達 20kHz 的采樣速度

    5、測量范圍可調,一個探頭,多個測量范圍,可以通過軟件,將數據保存為csv文件,可以通過軟件進行靈活的濾波和平均控制。

    具有數字化接口設計系列的放大器,它使用的技術將一個高度可靠的電容式電場測量(位移)直接轉化為一個高度精確的位移數字信號。

    電容位移傳感器的應用

    顯微鏡聚焦 鏡頭的對準 測量零件的外形 測量零件的傾斜 測量半導體硅片的厚度 測量壓電平臺的位移 測量振動 測量電腦硬盤運行和厚度 測量剎車盤的翹曲和厚度 測量金屬板的厚度 測量光伏晶圓

    MTI 標準探頭的特點

    ● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC  -- 200ºC (也有高溫探頭,在下一頁有介紹)

    ● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC

    ● 精度高于滿量程的±0.02% (當探頭和放大器經過和被測物校準后)

    ● 標準放大器濾波帶寬: 500Hz

    ● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

    ● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬  Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

    ● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%(在沒有經過校準的情況下互換)

    ● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭)

    ● 材料不銹鋼結構,內部沒有電子元器件

    ● 帶線纜的探頭,同軸電纜長度: 2.4m (可選延長線纜.)

     

    型號       ASP-1-ILR

     

    量程

    2zui大擴展量程

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    2.36

    mm

    9.53

    µm

    1.270

    ASP-2-ILR

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    2.84

    9.53

    2.540

    ASP-5-ILR

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    3.96

    9.53

    6.350

    ASP-10-ILR

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    5.54

    9.53

    12.700

    ASP-20-ILR

    508.0

    4

    50.80

    5.00

    7.92

    9.53

    25.400

    ASP-50-ILR

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    13.87

    9.53

    63.500

    ASP-100-ILR

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    9.53

    127.000

    ASP-200-ILR

    5080.0

    2

    508.00

    15.93

    38.10

    9.53

    254.000

     

     

    型號       ASP-25M-CTR

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    9.53

    mm

    25.40

    µm

    1.270

    ASP-50M-CTR

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    9.53

    25.40

    2.540

    ASP-125M-CTR

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    9.53

    25.40

    6.350

    ASP-250M-CTR

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    9.53

    25.40

    12.700

    ASP-500M-CTR

    508.0

    4

    50.80

    5.00

    11.13

    25.40

    25.400

    ASP-1250M-CTR

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    15.88

    25.40

    63.500

    ASP-2500M-CTR

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    25.40

    127.000

     

     

    產品型號       ASP-1-ILA

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    2.36

    mm

    9.53

    µm

    1.270

    ASP-2-ILA

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    2.84

    9.53

    2.540<,/,SPAN>

    ASP-5-ILA

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    3.96

    9.53

    6.350

    ASP-10-ILA

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    5.54

    9.53

    12.700

    ASP-20-ILA

    508.0

    4

    50.80

    5.00

    7.92

    9.53

    25.400

    ASP-50-ILA

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    13.87

    9.53

    63.500

    ASP-100-ILA

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    9.53

    127.000

    ASP-200-ILA

    5080.0

    2

    508.00

    15.93

    38.10

    9.53

    254.000

     

       

     

    型號       ASP-0.5-CTA

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    12.7

     

    20

    µm/V

    1.27

    mm

    0.74

    mm

    6.35

    mm

    63.50

    µm

    0.635

    ASP-25M-CTA

    25.4

    10

    2.54

    1.09

    6.35

    63.50

    1.270

    ASP-50M-CTA

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    6.35

    63.50

    2.540

    ASP-125M-CTA

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    6.35

    63.50

    6.350

    ASP-250M-CTA

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    6.35

    63.50

    12.700

    ASP-500M-CTA

    508.0

    5

    50.80

    5.00

    11.10

    63.50

    25.400

    ASP-1250M-CTA

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    15.88

    63.50

    63.500

    ASP-2500M-CTA

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    63.50

    127.000

    ASP-5000M-CTA

    5080.0

    2

    508.00

    15.93

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    254.000

    ASP-500-CTA

    12700.0

    1

    1270.00

    25.22

    82.55

    101.60

    635.000

     

     

     

    型號       ASP-1-PCA

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭長度L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    2.36

    mm

    2.54

    µm

    1.270

    ASP-2-PCA

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    2.84

    2.54

    2.540

    ASP-5-PCA

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    3.96

    2.54

    6.350

    ASP-10-PCA

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    10

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    ASP-100-PCA

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    254.00

    11.25

    25.40

    2.54

    127.000

     
     

     

    型號       ASP-1-PCR

     

    量程

    2zui大擴展范圍

     

    感度

     

    感測直徑E

     

    探頭直徑D

     

    探頭直徑L

     

    zui小范圍

    µm

    25.4

     

    10

    µm/V

    2.54

    mm

    1.09

    mm

    2.36

    mm

    2.54

    µm

    1.270

    ASP-2-PCR

    50.8

    10

    5.08

    1.55

    2.84

    2.54

    2.540

    ASP-5-PCR

    127.0

    10

    12.70

    2.49

    3.96

    2.54

    6.350

    ASP-10-PCR

    254.0

    10

    25.40

    3.53

    5.54

    2.54

    12.700

    ASP-20-PCR

    508.0

    4

    50.80

    4.98

    7.92

    2.54

    25.400

    ASP-50-PCR

    1270.0

    3

    127.00

    7.98

    13.87

    2.54

    63.500

    ASP-100-PCR

    2540.0

    2

    254.00

    11.25

    25.40

    2.54

    127.000

    ASP-200-PCR

    5080.0

    2

    508.00

    15.93

    38.10

    5.08

    254.000

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